Настоящий стандарт устанавливает классификацию молекулярных загрязнений в воздухе чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред с учетом их химического состава, методов испытаний и анализа с учетом фактора времени.
Стандарт рассматривает молекулярные загрязнения в воздухе в пределах от 10 до 10-12 г/м3.
Стандарт не предназначен для применения в случаях, когда аэрозольные молекулярные загрязнения не представляют опасности для продукции или процесса.
Стандарт не содержит описания природы молекулярных загрязнений.
Стандарт не устанавливает классификацию молекулярных загрязнений поверхностей.