Настоящий  стандарт  устанавливает  требования  к  геометрическим  формам  и  линейным  размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния (далее – рельефные меры) для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10- 6м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех  видов  поверок  растровых  электронных  микроскопов  по  ГОСТ  8.594  и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по  ГОСТ 8.593  при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов.