Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее – РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10 - 6м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592.